位移檢測的傳感器次要有脈沖編碼器、直線光柵、旋轉(zhuǎn)變壓器、感應(yīng)同步器等。
 

一、脈沖編碼器的運(yùn)用

脈沖編碼器是一種角位移（轉(zhuǎn)速）傳感器，它可以把機(jī)械轉(zhuǎn)角變成電脈沖。脈沖編碼器可分為光電式、接觸式和電磁式三種，其中，光電式運(yùn)用比擬多。

X軸和Z軸端局部別配有光電編碼器，用于角位移測量和數(shù)字測速，角位移經(jīng)過絲杠螺距能直接反映拖板或刀架的直線位移。
 

二、直線光柵的運(yùn)用

直線光柵是運(yùn)用光的透射和反射景象制造而成，常用于位移測量，分辨力較高，測量精度比光電編碼器高，順應(yīng)于靜態(tài)測量。在進(jìn)給驅(qū)動中，光柵尺固定在床身上，其發(fā)作的脈沖信號直接反映了拖板的實際地位。用光柵檢測義務(wù)臺地位的伺服零碎是全閉環(huán)控制零碎。
 

三、旋轉(zhuǎn)變壓器的運(yùn)用

旋轉(zhuǎn)變壓器是一種輸入電壓與角位移量成延續(xù)函數(shù)關(guān)系的感應(yīng)式微電機(jī)。旋轉(zhuǎn)變壓器由定子和轉(zhuǎn)子組成，詳細(xì)來說，它由一個死心、兩個定子繞組和兩個轉(zhuǎn)子繞組組成，其原、副繞組區(qū)分放置在定子、轉(zhuǎn)子上，原、副繞組之間的電磁耦合水平與轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)角有關(guān)。
 

四、感應(yīng)同步器的運(yùn)用

感應(yīng)同步器是運(yùn)用兩個立體形繞組的互感隨地位不同而變化的原理制成的。其功用是將角度或直線位移轉(zhuǎn)變成感應(yīng)電動勢的相位或幅值，可用來測量直線或轉(zhuǎn)角位移。按其構(gòu)造可分為直線式和旋轉(zhuǎn)式兩種。直線式感應(yīng)同步器由定尺和滑尺兩局部組成，定尺裝置在機(jī)床床身上，滑尺裝置于挪動部件上，隨義務(wù)臺一同挪動；旋轉(zhuǎn)式感應(yīng)同步器定子為固定的圓盤，轉(zhuǎn)子為轉(zhuǎn)動的圓盤。感應(yīng)同步用具有較高的精度與分辨力、抗干擾才干強(qiáng)、運(yùn)用壽命長、維護(hù)復(fù)雜、長間隔位移測量、工藝性好、本錢較初等優(yōu)點。直線式感應(yīng)同步器目前被普遍地運(yùn)用于大位移靜態(tài)與靜態(tài)測量中，例如用于三坐標(biāo)測量機(jī)、程控精工機(jī)床、高精度重型機(jī)床及加工中心測量安裝等。旋轉(zhuǎn)式感應(yīng)同步器則被普遍地用于機(jī)床和儀器的轉(zhuǎn)臺以及各種回轉(zhuǎn)伺服控制零碎中。